Intel全球第一个下单订购ASML最先进EUV光刻机

发布时间：2022-01-20 00:23:23 所属栏目：动态来源：互联网

导读：Intel宣布第一个下单订购了ASML TWINSCAN EXE:5200光刻机。 TWINSCAN EXE:5200是ASML的高NA（数值孔径）EUV光刻机，其吞吐量超每小时220片晶圆（wph）。从路线图来看，EXE:5200预计最快2024年底投入使用，2025年开始大规模应用于先进芯片的生产。事实上

　　Intel宣布第一个下单订购了ASML TWINSCAN EXE:5200光刻机。

　　TWINSCAN EXE:5200是ASML的高NA（数值孔径）EUV光刻机，其吞吐量超每小时220片晶圆（wph）。

　　从路线图来看，EXE:5200预计最快2024年底投入使用，2025年开始大规模应用于先进芯片的生产。

　　事实上，4年前，ASML的第一代高NA（0.55 NA）光刻机EXE:5000，Intel就是第一个下单的公司。不过当前的7nm、5nm芯片还并非是其生产，而是0.33NA EUV光刻机。
　　
　　和0.33NA光刻机相比，0.55NA的分辨率从13nm升级到8nm，可以更快更好地曝光更复杂的集成电路图案，突破0.33NA单次构图32nm到30nm间距的极限。

　　外界预计，第一代高NA光刻机EXE:5000会率先用于3nm节点，至于EXE:5200，按照Intel的制程路线图，2025年至少是20A或者18A（A代表埃米），也就是2nm和1.8nm或者20埃米和18埃米。

　　最后不得不说，Intel能抢到第一单，除了和ASML一致紧密合作外，当然也是因为“钞能力”，Gartner分析师Alan Priestley称，0.55NA下一代EUV光刻机单价将翻番到3亿美元（约合19亿元人民币）。

（编辑：徐州站长网）

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